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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

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2023-09-19 公布专利

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国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]高纯四氟化硅的制备方法-CN201010205743.4有效
发明人：桂思祥;李忠灿;潘慧娟;石平湘 -专利权人：石平湘
申请日： 2010-06-22 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种高纯四氟化硅的制备方法，其包括如下步骤：四氟化硅生成工序，用质量比为1∶(10～15)∶(38～42)的二氧化硅、氟硅酸及浓硫酸反应，生成四氟化硅；四氟化硅提纯工序，生成的四氟化硅经气液分离、浓硫酸干燥及分子筛吸附处理得到高纯四氟化硅；硫酸生成工序，对四氟化硅生成工序中形成的含有氟化氢的废硫酸进行水蒸气蒸馏，生成的硫酸再回收利用到四氟化硅生成工序和四氟化硅提纯工序中；本发明的有益效果是：制备的四氟化硅纯度可达到
高纯氟化制备方法

[发明专利]四氟化硅的制备方法-CN201110280075.6无效
发明人：张月和;薛明;蔡春立;李青娟;李占良;孙仲刚;窦义虎 -专利权人：六九硅业有限公司
申请日： 2011-09-20 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提供了一种四氟化硅的制备方法，包括以下步骤：液态氟化氢与Si源在浓硫酸的作用下反应，得到四氟化硅。本发明以液态氟化氢为原料，减少了原料中水的含量，降低了水分对生成的四氟化硅的影响，从而提高了四氟化硅的纯度。另外，与氟化氢气体相比，液态氟化氢为原料能够减少氟化氢损耗，减少生成的四氟化硅中氟化氢杂质的含量，提高四氟化硅的纯度。进一步的，本发明首先将Si源与浓硫酸混合均匀，再向其中加入液态氟化氢进行反应，能够减少氟化氢挥发，提高氟化氢的利用率，提高得到的四氟化硅的纯度。实验表明，采用本发明提供的方法制备得到的四氟化硅的纯度为96wt％以上。
氟化制备方法

[实用新型]一种简单有效的四氟化硅提纯系统-CN201120010993.2有效
发明人：杨建松;陈德伟;栗广奉;耿金春 -专利权人：浙江中宁硅业有限公司
申请日： 2011-01-14 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型公开一种简单有效的四氟化硅提纯系统。它包括四氟化硅反应器、四氟化硅净化塔、硫酸循环槽、硫酸冷却器、硫酸循环泵、冷冻水系统；硫酸冷却器顶部与四氟化硅净化塔上部相连，硫酸冷却器底部经硫酸循环泵、硫酸循环槽、四氟化硅反应器、四氟化硅净化塔底部顺次相连，四氟化硅净化塔下部与硫酸循环槽相连，冷冻水系统与硫酸冷却器相连。本实用新型采用浓硫酸循环使用，节省了现有技术中大量的液氮冷源成本，避免了现有技术中四氟化硅提纯系统的能源浪费，提高四氟化硅纯化效率，降低生产成本。
一种简单有效氟化提纯系统

[发明专利]一种四氟化硅的除水方法-CN201510842991.2在审
发明人：岳立平;蒋玉贵;柳彤;张净普;乔蓓蓓;李丹丹;冀延治 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
申请日： 2015-11-26 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种四氟化硅的除水方法，属于氟化工、电子工业气体领域。所述方法将四氟化硅、稀释气体和碳酰氟通入装有填料的除水塔中，碳酰氟与四氟化硅中的水接触，发生反应，除去四氟化硅中的水分，得到产物1；对产物1进行冷凝处理，得到产物2；对产物2依次进行吸附和低温精馏处理，收集四氟化硅，完成四氟化硅的除水；所述方法操作简单，可有效脱除四氟化硅中的水分，经检测，四氟化硅产品的纯度为高达99.999％，未检测到水分，六氟二甲硅醚(SiF₃)_2<
一种氟化方法

[发明专利]一种以氟硅酸盐为原料生产四氟化硅的方法-CN201910747473.0在审
发明人：李龙 -专利权人：武汉过控科技有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种以氟硅酸盐为原料生产四氟化硅的方法，其特征在于：将氟硅酸盐与含氟化氢的液体进行反应，得到四氟化硅和含氟化盐的氟化氢溶液。四氟化硅通过气体分离纯化操作得到四氟化硅产品，含氟化盐的氟化氢溶液通过固液分离操作得到氟化盐固体产品与氟化氢。
四氟化硅氟硅酸盐氟化氢溶液氟化氢含氟化盐固体产品固液分离气体分离氟化盐

[发明专利]一种无水氟化氢生产过程中去除氯元素的方法及系统-CN202111649298.5在审
发明人：宋志伟;廖华;卫文碧;张灿;周鹏飞 -专利权人：湖北瓮福蓝天化工有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：一种无水氟化氢生产过程中去除氯元素的方法包括四氟化硅气体收集、四氟化硅气体净化；第一步：四氟化硅气体收集，对生成无水氟化氢生产过程中产生四氟化硅气体进行收集；第二步：四氟化硅气体净化，将第一步收集的四氟化硅气体用氟硅酸液进行喷淋一种无水氟化氢生产过程中去除氯元素的系统包括喷淋仓，在所述的喷淋仓一端设有四氟化硅气体进气管、另一端设有四氟化硅气体出气管；在所述的喷淋仓内设喷淋头，喷淋头与氟硅酸液进液管连通。发明的优点，利用氟硅酸去除无水氟化氢生产过程中的氯元素，提高了去除效率。
一种无水氟化氢生产过程去除元素方法系统

[发明专利]一种四氟化硅的纯化方法-CN201510979404.4有效
发明人：蒋玉贵;孟祥军;李翔宇;董云海;乔蓓蓓;沙婷;杨庆平 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明涉及一种四氟化硅的纯化方法，属于氟化工、电子工业气体领域。所述方法为：将四氟化硅粗品气与纯化反应物1进行纯化反应，得到的产物通过冷阱收集，得到纯化的四氟化硅气体；纯化反应物1为含有氟原子和/或含氯原子的物质；四氟化硅粗品气与纯化反应物1进行纯化反应的温度为‑199℃～1999℃，当纯化反应物1为F₂时，温度为‑199℃～99℃；四氟化硅粗品气与纯化反应物1进行纯化反应的压力为‑0.09MPa～2MPa。纯化的四氟化硅气体还可进一步与纯化反应物2进行纯化反应，获得纯度更高的四氟化硅。所述方法容易获得高纯度的四氟化硅，产率和安全性高，成本低。
一种氟化纯化方法

[发明专利]四氟化硅的制造方法、以及用于其的制造装置-CN200680036906.2有效
发明人：永野贡;守谷武彦;胁雅秀;宫本和博 -专利权人：斯泰拉化工公司
申请日： 2006-09-29 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提供制造四氟化硅时可降低制造成本以及减少废弃物量的四氟化硅的制造方法、以及用于其的制造装置。其特征在于，具有如下工序：高二氧化硅氟硅酸生成工序(a)，其通过包含二氧化硅的原料1、与包含氢氟酸和氟硅酸的混合液反应，生成高二氧化硅氟硅酸水溶液；四氟化硅生成工序(c)，通过使前述高二氧化硅氟硅酸水溶液与硫酸反应，生成四氟化硅；硫酸生成工序(d)，通过对前述四氟化硅生成工序(c)中副生成的含氟化氢的硫酸进行水蒸气蒸馏，生成硫酸。前述四氟化硅生成工序(c)中，将前述硫酸生成工序(d)中生成的前述硫酸再利用。
氟化制造方法以及用于装置

[其他]生产四氟化硅的方法-CN85102344无效
发明人：沃尔夫根·波尔沙 -专利权人：斯瓦罗夫斯基公司
申请日： 1985-04-01 - 公布日： 1986-10-29 - 主分类号： C01B33/08 文献下载
摘要：通过含有氟化硅气体的水解作用生产四氟化硅的方法，水解物同氟化钠、氟化钾和/或氟化钡进行反应，反应产物由热分解后得到，由此生成四氟化硅。
生产氟化方法

[发明专利]一种以四氟化硅为原料离心分离制备氟化氢方法及装置-CN202210331672.5有效
发明人：陈文兴;周昌平;王瑶;彭星运;陈思帆;田娟 -专利权人：贵州省化工研究院
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明涉及氟硅分离技术领域，尤其是一种以四氟化硅为原料离心分离制备氟化氢方法及装置，采用四氟化硅气体与水在常温下接触水解生成氟硅酸溶液和二氧化硅，且结合密封罐内离心分离处理，使得四氟化硅气体转化成氟硅酸溶液的转化率得到提升，极大程度提高了四氟化硅转化率；再利用氟硅酸不稳定性易于分解成四氟化硅气体和氟化氢气体的特性，以及氟化氢与四氟化硅沸点不同的特性，采用浓硫酸洗涤、热分解，完成无水氟化氢制备，其能耗较低，所得产品的纯度较高，且氟转化率达到了93.4％以上，极大；程度降低了氟化氢生产成本。
一种氟化原料离心分离制备氟化氢方法装置

[发明专利]生产多晶硅的方法-CN200880103617.9无效
发明人：安德雷·帕夫洛维奇·丘卡诺夫;鲁斯兰·阿列克谢耶维奇·舍甫琴柯;亚历山大·尤列维奇·瓦赫鲁申;奥列格·亚历山德罗维奇·曼许里安特塞夫;斯特拉·瓦列里埃夫娜·斯梅坦金娜 -专利权人： "索拉斯"有限责任公司
申请日： 2008-08-15 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： C01B33/033 文献下载
摘要：本发明涉及冶金和/或化学领域，更特别涉及用于生产四氟化硅气体和由所述四氟化硅气体生产多晶硅的方法和设备。用于由氟硅酸溶液生产四氟化硅的方法包括：生成、洗涤、干燥、分解酸提取物、将未分离的四氟化硅和氟化氢流鼓泡通过二氧化硅。硅生产方法包括使四氟化硅气体和镁蒸气相互反应，然后分离最终产物。本发明可以生产高纯硅、提高最终产率、改进生产的环保特性、简化硅生产过程并降低最终产物的生产成本。
生产多晶方法

[发明专利]一种利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法-CN201810724841.5有效
发明人：朱庆山;杨海涛;范川林 -专利权人：中国科学院过程工程研究所
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用氟硅酸钠高效生产四氟化硅和氟化钠的方法，所述方法包括脱水干燥工序、分解工序、脱硅工序和吸收工序，具体为：氟硅酸钠经过脱水干燥工序得到无水氟硅酸钠；然后进入分解工序，得到四氟化硅和半成品氟化钠；一部分四氟化硅返回分解工序用作流化气体，另一部分作为四氟化硅产品；半成品氟化钠中一部分直接进入脱硅工序，得到氟化钠产品，产生四氟化硅尾气；半成品氟化钠中的另一部分用于吸收脱硅尾气中的四氟化硅，得到半成品氟硅酸钠本方法适用于氟硅酸钠分解制备四氟化硅和氟化钠，具有流程短，能耗低，环境友好，产品附加值高等优点。
一种利用硅酸钠高效生产氟化氟化钠方法

[发明专利]硫酸酸化氟硅酸钠制备四氟化硅和无水氟化氢的方法-CN201010504248.3无效
发明人：张宗凡;梁雪松;肖勇;杨亚斌;吴立群 -专利权人：云南省化工研究院
申请日： 2010-10-13 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：硫酸酸化氟硅酸钠制备四氟化硅和无水氟化氢的方法涉及氟化工技术领域，特别涉及一种由氟硅酸钠与硫酸反应制备四氟化硅和无水氟化氢气体的方法，本发明的步骤为：a.氟硅酸钠与过量硫酸在150℃以下搅拌反应得到四氟化硅气体，氟化氢留在固体残渣中；b.步骤a产生的四氟化硅气体经除尘、冷却、干燥、精制、压缩得到高纯四氟化硅气体；c.继续升温至200℃，氟化氢气体逸出；d.步骤c逸出的氟化氢气体经除尘、冷却、干燥、精制、压缩得到无水氟化氢气体
硫酸酸化硅酸钠制备氟化无水氟化氢方法

[实用新型]一种有效的四氟化硅制备系统-CN201120424333.9有效
发明人：陈德伟;陈惠祥;耿金春;孔祥云 -专利权人：浙江中宁硅业有限公司
申请日： 2011-11-01 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本实用新型公开一种有效的四氟化硅制备系统。它包括混酸槽、打浆槽、四氟化硅反应器、四氟化硅净化塔、沉降分离槽、稀硫酸浓缩器；混酸槽和打浆槽分别与四氟化硅反应器相连；反应器顶部与四氟化硅净化塔相连；反应器底部与沉降分离槽相连；分离槽底部与打浆槽相连本实用新型节省四氟化硅生产过程中的能源浪费，做到硫酸的循环利用；适合大规模生产，纯度高，质量稳定。
一种有效氟化制备系统

[发明专利]一种高纯四氟化硅气体的纯化方法及纯化系统-CN202011306324.X在审
发明人：金向华;徐聪;孙猛;王新喜 -专利权人：苏州金宏气体股份有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明提供了高纯四氟化硅的纯化方法，包括：S1)将纯度为99.9％的四氟化硅粗品经氟化剂吸附处理后，得到除去氟硅醚后的气体；所述氟化剂为负载型过渡金属氟化盐；S2)将所述除去氟硅醚后的气体在活性炭存在的条件下与碳酰氯反应，得到除水后的气体；S3)将所述除水后的气体进行低温精馏，得到高纯四氟化硅。与现有技术相比，本发明将粗品四氟化硅通过金属氟化盐以及碳酰氟双重作用，先经吸附氟化，然后低温精馏的方法，除去氟硅醚化合物杂质和水分，该方法可实现四氟化硅产物的提纯，可有效除去四氟化硅中的氟硅醚杂质和水分
一种高纯氟化气体纯化方法系统

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